真空熔煉爐是由內部的熱源發熱，溫度是由里向外傳遞的，其強度的大小將會直接影響到真空爐內溫度的分布情況。依據溫度場散布方程可知，內熱式真空冶煉爐整個溫度場的散布，首要取決于幾個方面的束縛。即資料的均勻導熱系數入，資料的均勻密度P和均勻比熱熔c。 　　影響真空熔煉爐溫度向外傳遞的要素，包含以下3點： 　　1、爐內內熱元的強度吼，在該規劃中，首要選用內熱源方式。真空熔煉爐內部熱源發熱，溫度由里至外傳遞。其強度巨細直接影響爐內溫度散布狀況。當內熱源吼越高時，必定點的溫度越高，一起必定溫差(△T)的散布區域(r)越大。所以，在實踐出產過程中，能夠經過操控爐芯的外表負荷亦即爐芯功率操控爐內溫度散布。 　　2、反響料距爐芯的間隔(△r)，當爐芯功率必守時，即內熱源的強度必守時，間隔爐芯越遠的反響料，真空熔煉爐溫度越低，能夠無法到達反響所需溫度。間隔爐芯越近，溫度越高，越利于反響進行。 　　3、爐料的散熱功能，爐料的散熱功能越好，內部熱量向外丟失越快，熱量很容易就損耗在反響料之外，致使必定點的溫度下降。可是若是反響料的散熱功能欠好，則利于真空甩帶爐熱量的會聚，使得熱量向外傳遞時刻加長，有利于反響料對熱量的吸收和反響地進行，進步必定點的溫度。應都在高真空條件下(4～13Pa)進行，反響溫度1200℃左右，芯溫度很快就能到達所需值，因而反響時刻的長短取決于反響料的厚度，即爐芯外圍反響料到爐體保溫層的間隔。能夠經過規劃爐體尺度操控供電時刻。

　　氣相沉積爐整體結構采用井式碳化爐結構。主要由爐體系統、控制系統、真空系統、冷卻系統、進氣系統、過濾系統、操作平臺等部分組成組成。 　　氣相沉積爐系統主要由爐蓋、爐體、爐底、保溫層、發熱體、引電體組成，爐殼為圓柱形結構，分爐體和爐頂蓋、爐底三部分，主要使用Q235鋼材，爐體、爐蓋、爐底均為夾層水冷結構，夾層內設置蛇形導流板，既可以引導水流流向又可以加強爐體壁抗壓能力，爐體上設置電極座、測溫座。抽氣口位于爐頂蓋或爐體側壁上。 　　加熱及保溫層，發熱體采用帶式合金發熱體，分三個加熱區，三角形加熱，分布在爐腔四周;保溫層：采用全纖維爐襯復合保溫結構，既可以讓爐膛整潔成型又可以保持良好的保溫性能，成型后的保溫層分別固定在爐壁、爐蓋上，操作與維護非常方便。 　　氣相沉積爐的爐膽采用高溫耐熱鋼，為保證高溫真空下的工作強度，采用雙真空結構。爐膽內外同時抽真空，并設置手動及自動壓差閥。考慮真空放電現象，采用低電壓大電流的供電方式。